仪器特点:l 三轴均采用台湾HIWIN高精度直线导轨、精密级滚珠丝杆传动,噪音低振动小,动态几何误差变形最小;l 采用优质花岗岩大理石底座、立柱,具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力 。采用花岗岩大理石+航空铝工作台,小惯性、保证高速运行的定位精度及稳态性能。l 有限元结构分析及优化结构设计为该系列保证了系统整体的高精度及高稳定性。采用英国技术的KMN集成式控制器与进口高性能伺服电机驱动,实现全闭环的控制 。技术规格: