仪器特点: l 三轴均采用台湾TBI高精度V型导轨、无牙螺杆传动,噪音低振动小,动态几何误差变形最小;l 采用优质花岗岩大理石底座、立柱,具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力 。l 采用航空铝工作台,重量轻惯性小、保证移动运行的定位精度及稳态性能。l 有限元结构分析及优化结构设计为该系列保证了系统整体的高精度及高稳定性。采用英国技术的KMN集成式控制盒,无需外部电位器直接由电脑调节控制上下光源· 技术规格: